SMC流量傳感器安裝連接尺寸

特點應用:

以制作在白金薄膜中的加熱器(Rh)為中心，左右對稱配置上游測溫傳感器(Ru)和下游測溫傳感器(Rd)，

再加上作為氣體測溫用的環境溫度傳感器(Ra)構成本MEMS傳感器觸點。

原理如右圖所示，(a)氣體在靜止狀態時，以Rh為中心加熱后的氣體溫度呈分布均等狀態，Ru · Rd同時顯示同樣的電阻值。

此外.(b)氣體由左側向右側流動時．被加熱的氣體溫度分布不再對稱，Pd的電阻值會變為大于Ru。

由于Ru和Rd電阻值的差與流動氣體的流速成比例，因此可測定其電阻值并根據計算處理得知氣體的流向和流速(流量)。

Ra用于補償氣體溫度或者環境溫度。

●微小工件的吸附確認

●重復精度: ± 2% F.S.以下

●響應速度: 5 ms 以下、耐壓: 500 kPa

測定流量范圍300.0～3.0L/min

類型分離型傳感器部

適用流體干燥空氣 / N?

OUT1輸出形式模擬電壓輸出

傳感器響應時間0.005 s

配管規格M5X0.8

模擬輸出精度±5% F.S.

重復精度±2% F.S.

電源電壓DC12～24V±10%

消耗電流16mA以下

可選項-無L型托架

●無潤滑脂、對應RoHS

●一個電壓監控器即可對應全部量程

●相關元件:真空過濾器ZFC050系列

SMC流量傳感器安裝連接尺寸